株式会社　メムス・コア

基本情報

法人番号

1370001012246

法人名称/商号

株式会社　メムス・コア

法人名称/商号（カナ）

メムスコア

法人名称/商号（英語）

-

所在地

〒9813206
宮城県仙台市泉区明通３丁目１１番地の１

代表者

-

資本金

-

従業員数

-

営業品目

-

事業概要

-

設立年月日

-

創業年

-

データ最終更新日

2019年01月24日

補助金情報

• 地域イノベーション・基盤高度化促進委託費

  2010年01月01日

  7,209,300円

  対象

  本研究開発の目的は、情報家電における液晶パネル・半導体デバイス等薄膜形成等の製造装置に用いられる真空計について、歩留まり改善等の生産性向上、低価格、長寿命化等の生産コスト低減、高機能化、高性能化、耐食性の向上等生産設備の最適化に対応する高度化された真空計の開発を目的とする。

  府省

  経済産業省

• 地域イノベーション・基盤高度化促進委託費

  2010年01月01日

  600,000円

  対象

  精密加工機械、半導体加工装置、ロボットなどの機械・装置において小型化、高精度化、高速化という課題及びニーズは大きい。これらの課題及びニーズに対応するため、これら機械・装置のメカニズムの「位置決め」に使用する「超小型・高精度・高速応答変位計測エンコーダ」を独創的な構造を考案して実現し光ＭＥＭＳ技術を用いて開発・実用化する。

  府省

  経済産業省

特許情報

• 特許　2015161584

  2015年08月19日

  特許分類

  C23C 16/44
  金属質材料への被覆; 金属質材料による材料への被覆; 化学的表面処理; 金属質材料の拡散処理; 真空蒸着, スパッタリング, イオン注入法, または化学蒸着による被覆一般; 金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般

  テーマコード

  4K030

  発明の名称

  水晶発振式膜厚計及びこれを応用した成膜装置

• 特許　2015161584

  2015年08月19日

  特許分類

  C23C 16/44 B
  金属質材料への被覆; 金属質材料による材料への被覆; 化学的表面処理; 金属質材料の拡散処理; 真空蒸着, スパッタリング, イオン注入法, または化学蒸着による被覆一般; 金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般

  テーマコード

  4K030

  発明の名称

  水晶発振式膜厚計及びこれを応用した成膜装置

• 特許　2015161584

  2015年08月19日

  特許分類

  C23C 16/455
  金属質材料への被覆; 金属質材料による材料への被覆; 化学的表面処理; 金属質材料の拡散処理; 真空蒸着, スパッタリング, イオン注入法, または化学蒸着による被覆一般; 金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般

  テーマコード

  4K030

  発明の名称

  水晶発振式膜厚計及びこれを応用した成膜装置

• 特許　2015161584

  2015年08月19日

  特許分類

  H01L 21/31
  基本的電気素子

  テーマコード

  4K030

  発明の名称

  水晶発振式膜厚計及びこれを応用した成膜装置

• 特許　2015161584

  2015年08月19日

  特許分類

  H01L 21/31 B
  基本的電気素子

  テーマコード

  4K030

  発明の名称

  水晶発振式膜厚計及びこれを応用した成膜装置

• 特許　2015161584

  2015年08月19日

  特許分類

  H01L 21/31 F
  基本的電気素子

  テーマコード

  4K030

  発明の名称

  水晶発振式膜厚計及びこれを応用した成膜装置

• 特許　2010118421

  2010年05月24日

  特許分類

  H01L 21/28
  基本的電気素子

  テーマコード

  4E351

  発明の名称

  配線構造物及びその製造方法

• 特許　2010118421

  2010年05月24日

  特許分類

  H01L 21/28 301R
  基本的電気素子

  テーマコード

  4E351

  発明の名称

  配線構造物及びその製造方法

• 特許　2010118421

  2010年05月24日

  特許分類

  H01L 21/285
  基本的電気素子

  テーマコード

  4E351

  発明の名称

  配線構造物及びその製造方法

• 特許　2010118421

  2010年05月24日

  特許分類

  H01L 21/285 Z
  基本的電気素子

  テーマコード

  4E351

  発明の名称

  配線構造物及びその製造方法

• 特許　2010118421

  2010年05月24日

  特許分類

  H01L 21/3205
  基本的電気素子

  テーマコード

  4E351

  発明の名称

  配線構造物及びその製造方法

• 特許　2010118421

  2010年05月24日

  特許分類

  H01L 21/88 J
  基本的電気素子

  テーマコード

  4E351

  発明の名称

  配線構造物及びその製造方法

• 特許　2010118421

  2010年05月24日

  特許分類

  H01L 21/88 M
  基本的電気素子

  テーマコード

  4E351

  発明の名称

  配線構造物及びその製造方法

• 特許　2010118421

  2010年05月24日

  特許分類

  H01L 23/12
  基本的電気素子

  テーマコード

  4E351

  発明の名称

  配線構造物及びその製造方法

• 特許　2010118421

  2010年05月24日

  特許分類

  H01L 23/12 501P
  基本的電気素子

  テーマコード

  4E351

  発明の名称

  配線構造物及びその製造方法

• 特許　2010118421

  2010年05月24日

  特許分類

  H01L 23/52
  基本的電気素子

  テーマコード

  4E351

  発明の名称

  配線構造物及びその製造方法

• 特許　2010118421

  2010年05月24日

  特許分類

  H05K 1/09
  他に分類されない電気技術

  テーマコード

  4E351

  発明の名称

  配線構造物及びその製造方法

• 特許　2010118421

  2010年05月24日

  特許分類

  H05K 1/09 C
  他に分類されない電気技術

  テーマコード

  4E351

  発明の名称

  配線構造物及びその製造方法

• 特許　2010118421

  2010年05月24日

  特許分類

  H05K 1/11
  他に分類されない電気技術

  テーマコード

  4E351

  発明の名称

  配線構造物及びその製造方法

• 特許　2010118421

  2010年05月24日

  特許分類

  H05K 1/11 N
  他に分類されない電気技術

  テーマコード

  4E351

  発明の名称

  配線構造物及びその製造方法

• 特許　2010118421

  2010年05月24日

  特許分類

  H05K 3/10
  他に分類されない電気技術

  テーマコード

  4E351

  発明の名称

  配線構造物及びその製造方法

• 特許　2010118421

  2010年05月24日

  特許分類

  H05K 3/10 E
  他に分類されない電気技術

  テーマコード

  4E351

  発明の名称

  配線構造物及びその製造方法

• 特許　2010137560

  2010年06月16日

  特許分類

  H01L 23/10
  基本的電気素子

  テーマコード

  5F034

  発明の名称

  露光による実装体及び多品種実装体の露光による製造方法

• 特許　2010137560

  2010年06月16日

  特許分類

  H01L 23/10 B
  基本的電気素子

  テーマコード

  5F034

  発明の名称

  露光による実装体及び多品種実装体の露光による製造方法

• 特許　2010137560

  2010年06月16日

  特許分類

  H01L 23/12
  基本的電気素子

  テーマコード

  5F034

  発明の名称

  露光による実装体及び多品種実装体の露光による製造方法

• 特許　2010137560

  2010年06月16日

  特許分類

  H01L 23/12 F
  基本的電気素子

  テーマコード

  5F034

  発明の名称

  露光による実装体及び多品種実装体の露光による製造方法

• 特許　2010137560

  2010年06月16日

  特許分類

  H01L 23/14
  基本的電気素子

  テーマコード

  5F034

  発明の名称

  露光による実装体及び多品種実装体の露光による製造方法

• 特許　2010137560

  2010年06月16日

  特許分類

  H01L 23/14 S
  基本的電気素子

  テーマコード

  5F034

  発明の名称

  露光による実装体及び多品種実装体の露光による製造方法